| 发明名称 |
IMPROVEMENTS RELATING TO THE OPTICAL ALIGNMENT OF PATTERNS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB1207515(A) |
申请公布日期 |
1970.10.07 |
| 申请号 |
GB19670057202 |
申请日期 |
1967.12.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
|
| 分类号 |
G01B11/26;G02B6/04;G02B21/00;G03F9/00;H01L21/00 |
主分类号 |
G01B11/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
