用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环

摘要

一种用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环，此固定环具有下表面，内表面和外表面，并且在下表面上有多个凹槽。每个凹槽可包括内拖曳表面和浆料捕集区域。通道连接浆料捕集区域和内表面。内拖曳表面可被构造用于将嵌入工具固定在其上，此嵌入工具有接触边，此接触边用于摩擦性地接触抛光垫。

主权项

1.一种用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环，其特征在于所述固定环包括：环形圈，所述环形圈具有下表面，内表面和外表面；和多个凹槽，所述凹槽位于所述下表面上，每个凹槽包括：内拖曳表面，浆料捕集区域和通道，所述通道用于连接所述浆料捕集区域到所述内表面。