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发明名称 LOW TEMPERATURE CVD CHAMBER CLEANING USING DILUTE NF3
摘要
申请公布号 KR20060046021(A) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 KR20050038899 申请日期 2005.05.10
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 RIDGEWAY ROBERT GORDON;JI BING;MAROULIS PETER JAMES
分类号 H01L21/205;B08B7/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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