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发明名称 METHOD FOR PRODUCING SOLID ELEMENT PLASMA AND ITS PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 KR100581357(B1) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 KR20040038105 申请日期 2004.05.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01J37/32 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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