| 发明名称 | 半导体制造厂产品加工目录自动跟踪监测系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种半导体器件制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统，系统包括：①以客户为单位的产品制造信息存储装置；②生产线中各个机台的产能监控装置；③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)；④客户产品生产调度中心；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1773667A | 申请公布日期 | 2006.05.17 |
| 申请号 | CN200410067942.8 | 申请日期 | 2004.11.08 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 俞晓华;向玉坤;施南全;刘慧甄;彭久晏;陈鼎崴 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);G06Q90/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英;竺明 |
| 主权项 | 1、半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统，其特征是，系统包括：①产品制造信息存储装置；②生产线中各个机台的产能监控装置；③产品加工状态跟踪监测装置(MTS)；④客户产品生产调度中心；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||