共焦点光学装置和球面像差校正方法

摘要

以提供减少了球面像差的产生的共焦点光学装置和球面像差校正方法为目的。备有：驱动机构，其移动样本台，以改变物镜和样本台的间隔；球面像差校正部，其配置在光源和物镜之间；基准位置检测部，根据光检测器得到的检测结果，检测物镜的焦点位置对准样本的表面时的样本台的位置；移动量导出部，根据光检测器得到的检测结果，运算物镜的焦点位置对准样本内的测量对象之前的样本台的移动量，并导出测量对象的样本内深度；校正控制部，根据测量对象的样本内深度，控制球面像差校正元件(4)。

主权项

1、一种共焦点光学装置，其使从光源出射的光通过物镜聚光到样本台上的样本内部，同时，通过检测透镜聚光来自所述样本的反射光后使其通过针孔，并用光检测器进行检测，其中，备有：驱动机构，其使所述物镜透镜和所述样本台的一方移动，以便改变所述物镜和所述样本台的间隔；球面像差校正部，其配置在所述光源和所述物镜之间；基准位置检测部，其根据所述光检测器得到的检测结果，检测所述物镜的焦点位置对准所述样本的表面时的所述物镜或所述样本台的位置；移动量导出部，其根据所述光检测器得到的检测结果，运算所述物镜的焦点位置对准所述样本内的测量对象之前的所述物镜或所述样本台的移动量，并导出所述测量对象的样本内深度；校正控制部，其根据所述测量对象的样本内深度，控制所述球面像差校正部。