| 发明名称 |
Transparent and conductive zinc oxide film with low growth temperature |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1041644(A3) |
申请公布日期 |
2006.05.17 |
| 申请号 |
EP20000101090 |
申请日期 |
2000.01.20 |
| 申请人 |
ROCKWELL SCIENCE CENTER, LLC |
发明人 |
CHEUNG, JEFFREY T. |
| 分类号 |
C23C14/08;H01L31/0224;C23C14/28;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/3205;H01L23/52;H01L31/04;H01L31/18;H01L33/40 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
