| 发明名称 |
PROBE CLEANING SHEET AND CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060046037(A) |
申请公布日期 |
2006.05.17 |
| 申请号 |
KR20050039092 |
申请日期 |
2005.05.11 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
HAGA TSUYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/304;B08B1/00;B24B1/00;B24D15/02;B32B27/08;G01R1/06;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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