环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源

摘要

描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。

主权项

1.一种等离子体点火装置，所述装置包括：限定封闭通道的容器；以及至少一个点火电极，与所述容器相邻并具有与所述通道的相邻部分对齐的尺寸，所述至少一个点火电极的尺寸的总长度比所述通道的长度大10％，其中所述至少一个点火电极可将电场施加到所述通道中的气体，以启动所述气体的等离子体放电。