等离子显示面板的电极形成方法

摘要

通过使从层叠膜的最上层算起的1个下层的金属膜的成分扩散到最上层的金属膜中，可稳定地且有效地刻蚀最上层的金属膜。在玻璃基板上至少形成了第2金属膜后，在其上形成第1金属膜，在用刻蚀液刻蚀已被层叠的金属膜以形成层叠膜的电极时，作为第1金属和第2金属，使用具有在将第1金属和第2金属浸于第1金属的刻蚀液中的状态下若使其短路则第1金属的表面电位下降的性质的金属。然后，实施在第1金属膜的形成中或形成后将气氛温度保持为第2金属膜的金属原子扩散到第1金属膜的膜中和膜表面上那样的温度的扩散工序。

主权项

1.一种具有被电介质层覆盖的电极的等离子显示面板的电极形成方法，其特征在于，包括以下工序：在基板上至少形成了第2金属膜后，在其上形成第1金属膜；在层叠的金属膜上形成电极形成用的抗蚀剂图形，用刻蚀液刻蚀该金属膜以形成层叠膜的电极，其中，构成第1金属膜的第1金属与构成第2金属膜的第2金属不同，而且，作为第1金属和第2金属，使用具有在将第1金属和第2金属浸于第1金属的刻蚀液中的状态下若使其短路则第1金属的表面电位下降的性质的金属；以及，在第1金属膜的形成中或形成后将气氛温度保持为第2金属膜的金属原子扩散到第1金属膜的膜中和膜表面上那样的温度的扩散工序。