| 发明名称 | 基板定位装置 | ||
| 摘要 | 一种可减轻在双头激光加工机中因2个加工头的光轴位置偏离或倾斜引起的加工质量问题的基板定位装置，其具备：放置基板的工作台(33)及对该工作台进行保持的工作台的保持台(34)；与基板的相垂直的2边碰接的、对基板进行定位的X轴方向止动件(37)及Y轴方向止动件(36)；将X轴方向止动件(37)的相对工作台的保持台(34)的在X轴方向的位置在所定的基准位置与偏置位置间进行切换的X轴方向止动件位置切换装置(47)；将Y轴方向止动件(36)的相对工作台的保持台(34)的在Y轴方向的位置在所定的基准位置与偏置位置间进行切换的Y轴方向止动件位置切换装置(41)；使工作台(33)向与X轴方向及Y轴方向斜交的斜行方向水平移动、使基板与X轴方向止动件(37)及Y轴方向止动件(36)碰接的工作台驱动装置(50)。 | ||
| 申请公布号 | CN1772434A | 申请公布日期 | 2006.05.17 |
| 申请号 | CN200510064924.9 | 申请日期 | 2005.04.04 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社;美而高机电系统股份有限公司 | 发明人 | 金田充弘;冈部修三 |
| 分类号 | B23Q3/18(2006.01);B23K26/00(2006.01);B23K26/38(2006.01) | 主分类号 | B23Q3/18(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 方晓虹 |
| 主权项 | 1.一种基板定位装置，其特征在于，具备：放置基板的工作台及对该工作台进行保持的工作台的保持台；与所述基板的相垂直的2边碰接的、对所述基板进行定位的X轴方向止动件及Y轴方向止动件；将所述X轴方向止动件的相对所述工作台的保持台的在X轴方向的位置在所定的基准位置与对此进行所定量偏置的偏置位置间进行切换的X轴方向止动件位置切换装置；将所述Y轴方向止动件的相对所述工作台的保持台的在Y轴方向的位置在所定的基准位置与对此进行所定量偏置的偏置位置间进行切换的Y轴方向止动件位置切换装置；使所述工作台向与X轴方向及Y轴方向斜交的斜行方向水平移动、使所述基板与所述X轴方向止动件及Y轴方向止动件碰接的工作台驱动装置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||