化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置

摘要

一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，它包括有冷凝室、过滤室、吸附室，所述的冷凝室上连接有冷凝室进气管和冷凝室出气管，在冷凝室内设置有螺旋水冷管，该螺旋水冷管上连接有进水管和出水管；所述的过滤室内设置有带支架的过滤罩，该过滤罩上部穿入有过滤室进气管，在过滤罩的底部设置有粉尘收集罐，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管；所述的吸附室内设置有吸附剂层，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管。在该吸附剂层的上端设置有丝网，在该丝网上设置有重物块。本实用新型的优点是：经过三道过滤作用后保证了真空泵长期稳定运行，还具有清理简便，成本低廉特点。

主权项

1、一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，其特征在于：它包括有冷凝室(2)、过滤室(11)、吸附室(17)，所述的冷凝室(2)上连接有冷凝室进气管(1)和冷凝室出气管(5)，在冷凝室内设置有螺旋水冷管(3)，该螺旋水冷管(3)上连接有进水管(4)和出水管(6)；所述的过滤室(11)内设置有带支架的过滤罩(8)，该过滤罩(8)上部穿入有过滤室进气管(7)，在过滤罩(8)的底部设置有粉尘收集罐(9)，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管(10)；所述的吸附室(17)内设置有吸附剂层(15)，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管(12)，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管(16)。