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发明名称
可振动之晶粒附接工具
摘要
一种晶粒附接工具,包含有一置放头、一平台及一振动机构,用以在分别固定于该置放头及该平台上之晶粒及基体相接触时,将该置放头及该平台中之至少一选定者加以振。
申请公布号
TW200616130
申请公布日期
2006.05.16
申请号
TW094123591
申请日期
2005.07.12
申请人
英特尔股份有限公司
发明人
泰伦斯 凯斯奇;瓦苏迪凡 里邦休尔
分类号
H01L21/607
主分类号
H01L21/607
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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