发明名称 可振动之晶粒附接工具
摘要 一种晶粒附接工具,包含有一置放头、一平台及一振动机构,用以在分别固定于该置放头及该平台上之晶粒及基体相接触时,将该置放头及该平台中之至少一选定者加以振。
申请公布号 TW200616130 申请公布日期 2006.05.16
申请号 TW094123591 申请日期 2005.07.12
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 泰伦斯 凯斯奇;瓦苏迪凡 里邦休尔
分类号 H01L21/607 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国