缺陷修复装置及缺陷修复方法

摘要

一种缺陷修复装置，包含缺陷检查单元，配置以找出多层膜前表面上突出缺陷之大小，此多层膜并有一与前表面相反之后表面；计算单元，配置以根据缺陷检查单元所发现之突出缺陷大小，计算用以修复该突出缺陷之修复能量；能量供给器；以及能量控制器，配置以控制能量供给器，将由该计算单元所计算之修复能量，从该多层膜之后表面，提供至该多层膜之局部，以导致该局部之体积收缩，并将该突出缺陷收入多层膜中。