光阻清洗剂

摘要

一种包含单甲基醚丙二醇(PGME)或单甲基醚丙二醇衍生物与环己酮(ANONE)或环己酮(ANONE)衍生物成分之光阻清洗剂。具有下列特点：对人体具极低毒性，使用上具安全性，且无令人不愉快气味；不会对环境造成污染，且其废液及废水容易处理；对光阻材料层具有良好的溶解度，适宜的挥发性，及优越的清洗能力及良好于不同光阻之间相容性；能于室温储存，成本低廉，且不需更换用设备与生产条件对人体具极低毒性，使用上具安全性，且无令人不愉快气味；不会对环境造成污染，且其废液及废水容易处理。