超精密加工机Z轴同步微定位装置

摘要

一种超精密加工机Z轴同步微定位装置，其系于加工机设置一供带动工刀具作切削进给之工作台，而刀具与工作台之间系以一电致元件连结，且电致元件系由一电力控制单所控制驱动，而电力控制单元系以加工机之主轴角度讯号作为控制讯号，藉此使电力控制单元依主轴之角度讯号同步控制电致元件作电致伸缩来定位刀具于Z轴方向之变化。