序列式基板匣盒及基板搬运方法

摘要

一种序列式基板匣盒，适于容纳多个基板。序列式基板匣盒包括一底板、一上壳罩以及一框架，其中底板处设有多个活动开口，而上壳罩系配置于底板上，并与底板构成一容纳空间。此外，框架系配置于容纳空间内，此框架更包括多个对立杆与多个定位索。对立杆系垂直于水平面并设置于框架之而侧，而定位索系彼此间隔地平行于水平面方向且两端分别与对立杆连接，且基板系分层储放于定位索上。应用此序列式基板匣盒于基板搬运时，可避免基板受到外界环境的污染物所沾染。