旋转洗净乾燥装置及旋转乾燥方法

摘要

本发明是提供以叶片式旋转洗净及旋转乾燥时，可以使基板的全面充分乾燥的旋转洗净乾燥装置及旋转乾燥方法。其解决手段是和保持在旋转卡盘1的基板W相对而在预定间隔分开的位置上设置整流板3，构成可从整流板3的部喷射乾燥辅助气体。并且在旋转卡盘1的下方设置具有带脚缝隙孔6A的排气罩6。利用该排气罩6使洗净时所产生的雾气不会在上方飞扬而可排气到外部，乾燥时藉着整流板3将周边空气的流动加以整流使其不致产生乱流，可以使基板W的全面充分地加以乾燥。