超精密加工机Z轴同步偏摆微定位装置

摘要

一种超精密加工机Z轴同步偏摆微定位装置，其系于加工机设置一供带动工刀具作切削进给之工作台，而刀具系设置于一活动座上，且活动座之两端分别设有一电致元件，各电致元件之另端则结合于工作台，且各电致元件系由一电力控制单所控制驱动，而电力控制单元系以加工机之主轴角度讯号作为控制讯号，藉此使电力控制单元依角度讯号控制两电致元件作电致伸缩来定位刀具于Z轴方向之变化。