| 摘要 |
本发明系提供一种即使连续进行复数次的涂敷，仍可以使各涂敷的涂敷液之排出量维持一定的涂敷装置及涂敷方法。该涂敷方法系，若结束第一次的涂敷，则关闭开关阀14、21，将开关阀11打开，且使注射泵浦9回到原来的位置，经由脱气模组8再次将涂敷液送到涂敷液储留空间S内。此时，涂敷液储留空间S为了防止来自外部之气体的卷入，以剩余压力形成正压。然后，在关闭开关阀11之同时，将分歧配管15的开关阀17打开。于是与前述相同，涂敷液储留空间S的剩余压力被除去，降低至接近大气压的压力为止。如此，在进行各涂抹之前，藉着除去涂敷液储留空间S内的剩余压力。可使每一次涂敷的排出前状态经常保持在一定的状态。 |
