晶圆载具搬运管理方法及系统以及使用此方法制作之电子元件

摘要

一种用以管理晶圆载具(wafer carrier)搬运之搬运管理系统及方法。于接收一个第二晶圆载具之移出完成讯息前，取得将于一部制造机台上处理之第一晶圆载具之识别码，发出带有第一晶圆载具之识别码之移入请求至一个搬运系统，从制造机台接收代表第二晶圆载具中之晶圆批次处理完成之一个作业完成通知时，取得第二晶圆载具之一个目的地，以及发出一个带有目的地之移出请求至搬运系统。