一种线性定量光杠杆检测之装置

摘要

本发明一种线性定量光杠杆检测之装置，系应用于光杠杆式原子力显微镜之量测，其主要系藉由利用均匀平行光源、定量光反射微悬臂探针、傅立叶成像、线性四象限位置检测…等方法，侦测微悬臂探针的运动变化量，可达到一致、线性且定量之量测目的。