增强化学性之光阻组成物及光阻图型形成方法

摘要

本发明为一种含有(A)基于酸之作用使硷可溶性产生变化之树脂成份，及(B)经由曝光产生酸之酸产生剂成份者，其为含有(X)沸点为220℃以上高沸点溶剂成份之增强化学性光阻组成物。