薄膜半导体装置之制造方法

摘要

〔课题〕提供可使非晶质半导体薄膜不产生缺陷而结晶化，而且，可谋求工程的简化之薄膜半导体装置之制造方法〔解决手段〕一种具备有藉由对含有氢之非晶质半导体薄膜5照射雷射光Lh，使半导体薄膜5结晶化的退火工程之薄膜半导体装置之制造方法，在退火工程中，藉由对半导体薄膜5以特定速度vt使照射位置移动，而对半导体薄膜5连续照射雷射光，于半导体薄膜5中，不使氢气体膨胀，从雷射光Lh的照射部将多余氢予以去除。