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发明名称
具有位移定址电极之微镜
摘要
本发明之微镜元件包含一反射式可偏转镜面以及一提供来偏转该镜面之定址电极,其中该定址电极沿着垂直于该铰链长度之方向位移,以使该定址电极之一部分延伸超出该镜面。
申请公布号
TW200615601
申请公布日期
2006.05.16
申请号
TW094131664
申请日期
2005.09.14
申请人
雷弗莱提维提公司
发明人
帕戴尔沙帝爱德福
分类号
G02B7/182;B81B3/00
主分类号
G02B7/182
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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