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发明名称
类似钻石结构的碳层
摘要
所揭示者系关于一可供LCD使用之配向膜及其制备方法。本发明实施例大致系关于选定用以改善该等配向膜某些特性的处理条件。该等配向膜包括一非晶型碳之沉积层、一非晶型氢化碳层或一类似钻石的氢化碳层(DLC)。
申请公布号
TW200615394
申请公布日期
2006.05.16
申请号
TW094136594
申请日期
2005.10.19
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
黄盈珊;裘容菘
分类号
C23C16/26;C23C16/52;G02F1/1337
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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