流体喷射装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种流体喷射装置，包括：一基底；一流体腔，形成于该基底中；一结构层，覆盖于该基底与该流体腔上，其中覆盖于该流体腔上之该结构层形成有两厚度不同之区域；至少两喷孔，分别穿过上述两区域之结构层并与该流体腔连通。本发明更包括提供一种流体喷射装置之制造方法。