微影光罩不透光缺陷之修复方法

摘要

一种微影光罩上不透光缺陷的修复方法。此方法除了提供改善之修复结果外，还可避免损害光罩基材。首先覆盖一层含碳材料层于铬膜光罩图案上方，接着在整个铬膜光罩上覆盖一光阻层。蚀刻不透光缺陷上方之部分光阻，使不透光缺陷暴露出来，而其他部分光阻则保留覆盖在含碳材料层上。在不透光缺陷被移除过程中，以含碳材料层保护紧邻于其下之铬膜光罩的区域。在移除缺陷后，接着移除剩余光阻以及含碳材料层。