处理系统及处理方法,及电脑可读取之记忆媒体

摘要

处理系统1，系具备对晶圆W施加特定处理的处理装置10；和检测出处理装置10内之状态的复数检测手段；和检测出来自复数检测手段之检测资讯之异常的异常检测部15；和于异常检测部15检测出异常时，产生警告的警告产生部16；和将处理装置10之检测手段之检测资讯及警告资讯，储存为处理装置10之处理履历的资讯储存部17；和从资讯储存部17，取得关于被选择之警告之资讯的警告相关资讯取得部18；和将警告相关资讯取得部18所取得之警告相关资讯，加以显示的显示部21。