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发明名称 COOLING DEVICE, AND APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING IMAGE DISPLAY PANEL USING COOLING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060044588(A) 申请公布日期 2006.05.16
申请号 KR20050023888 申请日期 2005.03.23
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 YOSHIMURA MASANAO
分类号 H01J9/24;C23C16/46;C30B25/10;F27B5/14;F27B17/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
主权项
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