| 发明名称 |
LOCK CHAMBER DEVICE FOR VACUUM TREATMENT UNIT AND PROCEDURES FOR ITS OPERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060044866(A) |
申请公布日期 |
2006.05.16 |
| 申请号 |
KR20050025623 |
申请日期 |
2005.03.28 |
| 申请人 |
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
GEBELE THOMAS;HENRICH JURGEN;WEIMANN MANFRED |
| 分类号 |
C23C14/56;C03C17/00;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/00 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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