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发明名称 CLEANING APPARATUS FOR SLIT NOZZLE
摘要
申请公布号 KR20060044725(A) 申请公布日期 2006.05.16
申请号 KR20050024787 申请日期 2005.03.25
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.;TAZMO CO., LTD. 发明人 YAMAGUCHI KAZUNOBU;TAKASE SHINJI;KUMAZAWA HIROTSUGU;FUKUTOME KAZUKI;YAMAMOTO YUKI
分类号 B05B15/02;B05C5/02;B05C11/10;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 B05B15/02
代理机构 代理人
主权项
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