发明名称 SUPPORT MEMBER FOR WAFER AND THE LIKE
摘要
申请公布号 KR20060044706(A) 申请公布日期 2006.05.16
申请号 KR20050024652 申请日期 2005.03.24
申请人 KYOCERA CORPORATION 发明人 NAKAMURA TSUNEHIKO;MIGITA YASUSHI;MATSUOKA TOHRU
分类号 H02N13/00;H05B3/20;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/68;H01L21/683;H05B3/74 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
主权项
地址