| 发明名称 |
APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATES AND METHOD OF CONVEYING SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060045041(A) |
申请公布日期 |
2006.05.16 |
| 申请号 |
KR20050026731 |
申请日期 |
2005.03.30 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP. |
发明人 |
MASUKO NAOKI |
| 分类号 |
B65G49/06;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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