| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060044460(A) |
申请公布日期 |
2006.05.16 |
| 申请号 |
KR20050022995 |
申请日期 |
2005.03.21 |
| 申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SUGIYAMA AKIRA;KITAMURA SHUHICH;MURAKAMI KOJI;TAKAHASHI DAISUKE;YOSHIMOTO SHOHZOH |
| 分类号 |
H05H1/24;H05H1/30;C23C16/50;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/304;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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