| 发明名称 |
PROCESS AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING EXTREMELY THIN CHIP |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20060044663(A) |
申请公布日期 |
2006.05.16 |
| 申请号 |
KR20050024385 |
申请日期 |
2005.03.24 |
| 申请人 |
LINTEC CORPORATION |
发明人 |
MOCHIDA KINYA;KOMIYAMA MIKIO;WATANABE KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/78;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/52;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
