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发明名称 VAPORIZER FOR APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20060043720(A) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR20050022025 申请日期 2005.03.17
申请人 SUNIC SYSTEM. LTD. 发明人 SUNG, KI HYUN;CHOI, JU HO;SOH, JU WON;PARK, YEONG HO;LEE, EUNG JIK
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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