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发明名称 CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET, CERAMIC SINTERED BODY, AND PROCESS FOR PRODUCING SINTERED BODY
摘要
申请公布号 KR20060043427(A) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR20050018306 申请日期 2005.03.04
申请人 TOSOH CORP. 发明人 ITOH KENICHI;MASUKO HITOSHI;SHIBUTAMI TETSUO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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