| 发明名称 |
VACUUM PROBE APPARATUS AND VACUUM PROBE METHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060043635(A) |
申请公布日期 |
2006.05.15 |
| 申请号 |
KR20050021306 |
申请日期 |
2005.03.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YOSHIOKA HARUHIKO;TAKEKOSHI KIYOSHI;WATANABE SHINJIRO |
| 分类号 |
G01R1/06;H01L21/66;G01R31/02;G01R31/28 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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