发明名称 apparatus for cleaning flat display panel
摘要
申请公布号 KR100580144(B1) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR20030054711 申请日期 2003.08.07
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;H01L21/304;B08B1/04;B08B11/00;B08B13/00;G02F1/1333 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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