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发明名称 T-GATE FORMATION
摘要
申请公布号 KR20060042877(A) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR20050007954 申请日期 2005.01.28
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, L.L.C.;ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 LINSKENS FRANK;PELLENS RUDY
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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