一种扫描电子显微镜像散的校正方法

摘要

本发明涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤：a.选取校正样品，所述的校正样品为样品架上置有基板，基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结构来校正系统像散的困难，可使扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。

主权项

1.一种扫描电子显微镜像散的校正方法，其特征是它包括如下步骤：a.选取校正样品，所述的校正样品为样品架上置有基板，基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到5～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将校正样品图像的边缘轮廓调整到清晰状态。