气态束源炉瞬态开关控制真空装置

摘要

一种气源炉瞬态开关控制真空装置，包括：一不锈钢超高真空腔体；一气动阀，与不锈钢超高真空腔体的一端连接；一气态束源炉，安装在不锈钢超高真空腔体内；一气动阀门，与不锈钢超高真空腔体的中段连接；一真空泵，与气动阀门的另一端连接；一手动阀，与不锈钢超高真空腔体的另一端连接；一质量流量计，与手动阀连接；一手动阀门，与质量流量计连接；一气体管路，其两端分别与质量流量计和手动阀门连接；一气体容器，与手动阀门连接；一超高真空腔体，与气动阀连接，该超高真空腔体接有一高真空泵；一计算机分别控制质量流量计、气动阀和气动阀门，实现气流方向通入超高真空腔体或切换到旁路真空泵。

主权项

1、一种气源炉瞬态开关控制真空装置，其特征在于，其中包括：一不锈钢超高真空腔体(1)；一气动阀(2)，该气动阀(2)与不锈钢超高真空腔体(1)的一端连接；一气态束源炉(11)，该气态束源炉(11)安装在不锈钢超高真空腔体(1)内；一气动阀门(3)，该气动阀门(3)与不锈钢超高真空腔体(1)的中段连接；一真空泵(4)，该真空泵(4)与气动阀门(3)的另一端连接；一手动阀(6)，该手动阀(6)与不锈钢超高真空腔体(1)的另一端连接；一质量流量计(5)，该质量流量计(5)与手动阀(6)连接；一手动阀门(7)，该手动阀门(7)与质量流量计(5)连接；一气体管路(9)，该气体管路(9)的两端分别与质量流量计(5)和手动阀门(7)连接；一气体容器(8)，该气体容器(8)与手动阀门(7)连接；一超高真空腔体(12)，该超高真空腔体(12)与气动阀(2)连接，该超高真空腔体(12)接有一高真空泵(13)；一计算机(10)分别控制质量流量计(5)、气动阀(2)和气动阀门(3)，实现气流方向通入超高真空腔体(12)或切换到旁路真空泵。