发明名称 Method Of Patterning Interlayer Dielectric And Semiconductor Device Fabricated By Using The Method
摘要
申请公布号 KR100578125(B1) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20030020174 申请日期 2003.03.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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