发明名称 | 薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构 | ||
摘要 | 本发明涉及一种薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构,包括一基板,该基板可供一缓冲接固组件及感测传输组件锁设、固定,并于该感测传输组件内设一探针卡,令该探针卡与晶圆接触作良率测试时,藉由缓冲接固组件的缓冲限位移动特性,及感测传输组件的准确、稳定感测功效,使晶圆良率的检测作业更为确实、迅速,同时,在维修上亦甚为简便、省时。 | ||
申请公布号 | CN1770415A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
申请号 | CN200410088791.4 | 申请日期 | 2004.11.03 |
申请人 | 周万全;范伟芳 | 发明人 | 周万全;范伟芳 |
分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 孙皓晨;贺华廉 |
主权项 | 1、一种薄膜式晶圆测试装置,包括:一基板,其上设有一定位空间及若干锁孔;一缓冲接固组件,包含一锁设于该基板上的固定接座,以及一端穿经该定位空间与固定接座锁设结合的接固本体,且该接固本体与固定接座之间设有缓冲组件,使该接固本体与固定接座间存在一缓冲空间;一感测传输组件,包含传输座及传输界面,该传输座固设于该基座背缘处,其上贯穿成型若干等间距排列的感测弹性梢孔,可供感测弹性梢容设于内,该传输界面固设于该传输座背面处,其上设有若干相邻的传输导线,令该等感测弹性梢一端各自与一传输导线接触,而另端则触抵该基板相对应的外缘面;一探针卡,设于该传输界面与该接固本体之间,其一外表面竖设有复数呈凸立状的探针。 | ||
地址 | 中国台湾 |