发明名称 Method of forming a gate oxide in a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100576503(B1) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20030000713 申请日期 2003.01.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L29/78;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/762;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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