| 发明名称 | 热处理方法以及热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种热处理方法，其特征在于，包括：在内部设置有加热机构的由金属制成的处理容器内，通过上述加热机构对多级保持的多个被处理体实施低温区域的规定的热处理的工序，和在上述热处理结束后，向着在上述被处理体的高度方向上分割的上述处理容器的各区域导入冷却气体的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1771584A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200480009303.4 | 申请日期 | 2004.03.29 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 斋藤孝规;芹泽和秀;市川贵 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/22(2006.01);H01L21/324(2006.01) | 主分类号 | H01L21/205(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种热处理方法，其特征在于，包括：在内部设置有加热机构的由金属制成的处理容器内，通过所述加热机构对多级保持的多个被处理体实施低温区域的规定的热处理的工序，和在所述热处理结束后，向着在所述被处理体的高度方向上分割的所述处理容器的各区域导入冷却气体的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||