具备隧道积分器和物镜的投影照明系统

摘要

一种照明系统，包括隧道积分器，在其输出端具有物镜。使用该物镜的一个优势是当与该照明系统中的其它中继透镜和/或成像器物镜结合时，可在该中继系统的第二光栅处形成隧道积分器入口端的像。这减少了虚化，增加了亮度的均匀性，并增加了光线通过量。

主权项

1.一种照明系统，包括：产生照明光的光源；配置其使照明光均匀的隧道积分器，该隧道积分器具有输入与输出端；在靠近隧道积分器输出端配置的隧道积分器物镜；配置其用于接收照明光的至少一个成像器；在隧道积分器物镜与至少一个成像器之间配置的中继透镜系统，以从隧道积分器向该至少一个成像器中继照明光，该中继透镜系统包括至少一个中继透镜；以及在第一中继透镜与该至少一个成像器间配置的第一孔径光栅。