| 发明名称 | 工件除静电方法及其装置 | ||
| 摘要 | 一种工件除静电方法及其装置，不论是绝缘体、半导体还是导电体，对由任何物质构成的工件都能够无气流变化且不受设置场所制约地进行除静电。在将工件(W)从工件保持体(1)的表面(1c)分离的空气中或者规定的低真空中，通过改变在该工件保持体(1)上设置的导电体(1a，1b)的电压、在上述工件(W)附近引起电场，以此在该电场部分中瞬间地使空气等的环境气体中的一部分离子化并发生电离，从而中和残留在工件(W)上的电荷。 | ||
| 申请公布号 | CN1771592A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200580000157.3 | 申请日期 | 2005.04.28 |
| 申请人 | 信越工程株式会社 | 发明人 | 大谷义和;竹节宪之;古闲泰行 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);G02F1/13(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈伟 |
| 主权项 | 1.一种工件除静电方法，在进行工件处理后，对相对于工件保持体(1)装卸自如地被保持的工件(W)进行除静电，其特征在于，在上述工件保持体(1)上设置与周围绝缘的导电体(1a、1b)，在将工件(W)从该工件保持体(1)的表面(1c)分离的空气中或在规定的低真空中，改变上述导电体(1a、1b)的电压并在上述工件(W)附近引起电场，中和残留在工件(W)上的电荷。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||