| 发明名称 |
Shielding design for backside metal deposition |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2419895(A) |
申请公布日期 |
2006.05.10 |
| 申请号 |
GB20050021968 |
申请日期 |
2005.10.28 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
CLIVE LUCA WIDDICKS;PAUL RICH;IAN MONCRIEFF |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/34;H01L21/673;H01L21/687 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
